ANNEALING METHOD OF GAAS WAFER,申请号JP19860156550-传众专利搜索

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发明名称	ANNEALING METHOD OF GAAS WAFER
摘要
申请公布号	JPS6312130(A)	申请公布日期	1988.01.19
申请号	JP19860156550	申请日期	1986.07.02
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	ITO KAZUHIKO
分类号	H01L21/324;H01L21/265	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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