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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6311670(A) 申请公布日期 1988.01.19
申请号 JP19860217505 申请日期 1986.09.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUDA TETSURO
分类号 H01L21/285;C23C8/24;C23C16/04;C23C16/12;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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