发明名称 THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS6312172(A) 申请公布日期 1988.01.19
申请号 JP19870056201 申请日期 1987.03.11
申请人 KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD 发明人 KAMIKITA MASAKAZU;HOSOKAWA YOICHI;AWAJI HIROSHI
分类号 H01L27/12;G01N27/00;G01N27/414;H01L21/28;H01L21/312;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/94;H01L45/00;H01L49/02;H05B33/22 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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