发明名称 CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPS6311669(A) 申请公布日期 1988.01.19
申请号 JP19860152922 申请日期 1986.06.30
申请人 ULVAC CORP 发明人 KUSUMOTO TOSHIO;TAKAKUWA KAZUO;IKUTA TETSUYA;SUZUKI AKITOSHI;NAKAYAMA IZUMI
分类号 H01L21/285;C23C16/04;C23C16/08;C23C16/48;G02B1/10 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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