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经营范围
发明名称
CVD METHOD
摘要
申请公布号
JPS6311669(A)
申请公布日期
1988.01.19
申请号
JP19860152922
申请日期
1986.06.30
申请人
ULVAC CORP
发明人
KUSUMOTO TOSHIO;TAKAKUWA KAZUO;IKUTA TETSUYA;SUZUKI AKITOSHI;NAKAYAMA IZUMI
分类号
H01L21/285;C23C16/04;C23C16/08;C23C16/48;G02B1/10
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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