发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6310544(A) 申请公布日期 1988.01.18
申请号 JP19860154137 申请日期 1986.07.02
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKITA YOSHIHISA
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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