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发明名称 CHARGE PREVENTING DEVICE IN ION IMPLANTATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6310454(A) 申请公布日期 1988.01.18
申请号 JP19860152140 申请日期 1986.06.27
申请人 SHARP CORP 发明人 FURUMIYA HIDEO
分类号 H01L21/265;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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