发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CONSTRUCTION
摘要
申请公布号 JPS6310517(A) 申请公布日期 1988.01.18
申请号 JP19870159507 申请日期 1987.06.26
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 JIYOERU BERUNAARU SHIBEERU;AASAA CHIYAARUZU GOZAADO;SUTEHEN JIYON PIATON;PIEERU MAAKU PETOROFU
分类号 H01L21/20;H01L21/18;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/338;H01L29/12;H01L29/15;H01L29/778;H01L29/812;H01S5/34 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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