发明名称
摘要
申请公布号 JPS636745(U) 申请公布日期 1988.01.18
申请号 JP19860101557U 申请日期 1986.07.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):H01L23/32 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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