MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19860154057-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6310527(A)	申请公布日期	1988.01.18
申请号	JP19860154057	申请日期	1986.07.02
申请人	HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP	发明人	ISOBE YOSHIHIKO;YANAGISAWA HIROSHI;MIYAZAKI MASARU;MASUKI JIYUNJI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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