RECRYSTALIZATION OF THIN FILM,申请号JP19860155560-传众专利搜索

发明名称	RECRYSTALIZATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号	JPS6310516(A)	申请公布日期	1988.01.18
申请号	JP19860155560	申请日期	1986.07.01
申请人	NEC CORP	发明人	WAKAUMI HIROO
分类号	H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
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