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经营范围
发明名称 ION IMPLANTATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6310452(A) 申请公布日期 1988.01.18
申请号 JP19860153858 申请日期 1986.06.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TERU BARIAN KK 发明人 NAKAMURA NORIAKI;KAWAJI TOSHIYUKI
分类号 H01L21/265;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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