发明名称 MANUFACTURE OF AMORPHOUS SILICON FILM
摘要
申请公布号 JPS6310518(A) 申请公布日期 1988.01.18
申请号 JP19860154185 申请日期 1986.07.02
申请人 RICOH CO LTD 发明人 OKAMOTO HIROYUKI
分类号 H01L31/0248;H01L21/205;H01L31/08 主分类号 H01L31/0248
代理机构 代理人
主权项
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