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发明名称 ETCHING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS639938(A) 申请公布日期 1988.01.16
申请号 JP19860154369 申请日期 1986.06.30
申请人 NEC CORP 发明人 ENDO YUTAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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