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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS639936(A) 申请公布日期 1988.01.16
申请号 JP19860154348 申请日期 1986.07.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YANO HIROSHI;SAITO TSUTOMU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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