| 发明名称 |
INSPECTING INSTRUMENT FOR SUBSTRATE WORKING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS639812(A) |
申请公布日期 |
1988.01.16 |
| 申请号 |
JP19860152681 |
申请日期 |
1986.07.01 |
| 申请人 |
OMRON TATEISI ELECTRONICS CO |
发明人 |
YOTSUYA TERUHISA;TANIMURA SHIGERU |
| 分类号 |
G01B21/00;G01N21/88;G01N21/956;H05K3/34;H05K13/08 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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