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发明名称 DEVICE FOR SCANNING BY CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 SU1263188(A1) 申请公布日期 1988.01.15
申请号 SU19853859881 申请日期 1985.01.21
申请人 KAMYSHEV V.V.,SU;KAN YU.,SU;PYTLYAK B.N.,SU 发明人 KAMYSHEV V.V.,SU;KAN YU.,SU;PYTLYAK B.N.,SU
分类号 H05H7/04 主分类号 H05H7/04
代理机构 代理人
主权项
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