发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 HK488(A) 申请公布日期 1988.01.15
申请号 HK19880000004 申请日期 1988.01.07
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 HIDEHARU KIYOTA;MITSUAKI HORIUCHI
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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