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发明名称 SEMICONDUCTOR ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS639123(A) 申请公布日期 1988.01.14
申请号 JP19860151367 申请日期 1986.06.30
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 NAKAMURA MASASHI
分类号 H01L21/3063;H01L21/306 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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