发明名称 SUBSTRATE WIRING STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS637650(A) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 JP19860151007 申请日期 1986.06.27
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MACHIDA KATSUYUKI;KOBAYASHI TOSHIO;MATSUI NORIO
分类号 H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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