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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS637636(A) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 JP19860152207 申请日期 1986.06.28
申请人 KYUSHU DENSHI KINZOKU KK 发明人 SANO MASAKAZU
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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