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发明名称
摘要
申请公布号 JPS631679(B2) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 JP19760069795 申请日期 1976.06.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATO KEIZO;KANEKO TADAO;AKAGI MOTOO
分类号 H05K3/06;G03F7/09;G11B7/26;H01L21/00;H01L21/027;H05K3/00 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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