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经营范围
发明名称
ECR-CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPS637376(A)
申请公布日期
1988.01.13
申请号
JP19860150237
申请日期
1986.06.25
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
OKADA SHIGENOBU
分类号
H01L21/205;C23C16/34;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
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