发明名称 ECR-CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPS637376(A) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 JP19860150237 申请日期 1986.06.25
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 OKADA SHIGENOBU
分类号 H01L21/205;C23C16/34;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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