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经营范围
发明名称
GAS FLOW METHOD OF CVD APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS637619(A)
申请公布日期
1988.01.13
申请号
JP19860152123
申请日期
1986.06.28
申请人
ULVAC CORP
发明人
KUSUMOTO TOSHIO;TAKAKUWA KAZUO;IKUTA TETSUYA;SUZUKI AKITOSHI;NAKAYAMA IZUMI
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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