发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号 EP0173953(A3) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 EP19850110792 申请日期 1985.08.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MAEDA, SATOSHI C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/033;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/28;H01L29/08 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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