发明名称 INTEGRATED CIRCUIT WITH A SEMICONDUCTOR CAPACITOR AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 EP0192989(A3) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 EP19860101236 申请日期 1986.01.30
申请人 NEC CORPORATION 发明人 WATANABE, TOKUJIRO
分类号 H01L27/04;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L29/92;(IPC1-7):H01L29/92 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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