发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS637667(A) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 JP19860150841 申请日期 1986.06.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHINADA KAZUYOSHI
分类号 H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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