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发明名称 INTEGRATOR
摘要
申请公布号 JPS636540(A) 申请公布日期 1988.01.12
申请号 JP19860150891 申请日期 1986.06.27
申请人 KOMATSU LTD 发明人 NOZUE YASUHIRO;ITAKURA YASUO;ITOU NORIAKI;WAKABAYASHI OSAMU;FUJIMOTO JUNICHI;KOWAKA MASAHIKO
分类号 G02B17/00;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G02B17/00
代理机构 代理人
主权项
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