发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS635566(A) 申请公布日期 1988.01.11
申请号 JP19860150344 申请日期 1986.06.25
申请人 NEC CORP 发明人 KITAOKA NOBUYASU
分类号 H01L29/43;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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