发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS635208(A) |
申请公布日期 |
1988.01.11 |
申请号 |
JP19860148041 |
申请日期 |
1986.06.26 |
申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
ISHIKAWA KAZUMASA;KOBAYASHI AKITAKE;ITO KENICHI;MIYAIRI NOBUO;HAMAOKA TAKASHI |
分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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