发明名称 APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPS635208(A) 申请公布日期 1988.01.11
申请号 JP19860148041 申请日期 1986.06.26
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 ISHIKAWA KAZUMASA;KOBAYASHI AKITAKE;ITO KENICHI;MIYAIRI NOBUO;HAMAOKA TAKASHI
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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