DIFFUSION AND OXIDATION FURNACE,申请号JP19860150345-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DIFFUSION AND OXIDATION FURNACE
摘要
申请公布号	JPS635517(A)	申请公布日期	1988.01.11
申请号	JP19860150345	申请日期	1986.06.25
申请人	NEC CORP	发明人	TAKANE TORU
分类号	H01L21/22;H01L21/31	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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