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发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPS635519(A) 申请公布日期 1988.01.11
申请号 JP19860150369 申请日期 1986.06.25
申请人 NEC CORP 发明人 TAGUCHI KENSHIN
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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