发明名称 EPITAXIAL GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS635515(A) 申请公布日期 1988.01.11
申请号 JP19860148653 申请日期 1986.06.25
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOMATSU HIROSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址