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发明名称
SELECTIVE FORMATION OF CONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号
JPS634645(A)
申请公布日期
1988.01.09
申请号
JP19860146891
申请日期
1986.06.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
ISHIDA TAKASHI;OTSUKA KANJI;SAWARA KUNIZO;NIINA TOMOJI
分类号
H01L21/285;H01L21/3205
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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