AUTOMATIC HANDLER,申请号JP19860146899-传众专利搜索

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发明名称	AUTOMATIC HANDLER
摘要
申请公布号	JPS634640(A)	申请公布日期	1988.01.09
申请号	JP19860146899	申请日期	1986.06.25
申请人	HITACHI LTD	发明人	ISHIKAWA YASUMITSU
分类号	H01L21/66;G01R31/26	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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