| 发明名称 |
SUBSTRATE HOLDING JIG FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL CRYSTAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS634626(A) |
申请公布日期 |
1988.01.09 |
| 申请号 |
JP19860149267 |
申请日期 |
1986.06.24 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HIROTA KOJI;ITO MICHIHARU;YAMAMOTO KOSAKU |
| 分类号 |
H01L21/208;C30B19/06;H01L21/368 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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