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发明名称 TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS634622(A) 申请公布日期 1988.01.09
申请号 JP19860146970 申请日期 1986.06.25
申请人 HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD;HITACHI LTD 发明人 YAMAZAKI AKIHITO;MIYAGUCHI TAKASHI
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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