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发明名称 BIAS SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS634063(A) 申请公布日期 1988.01.09
申请号 JP19860146908 申请日期 1986.06.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUNEOKA MASATOSHI;HORIUCHI MITSUAKI;AKIMORI HIROYUKI;ASANO ISAMU;OWADA NOBUO
分类号 H01L21/285;C23C14/34 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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