发明名称 METHOD AND STRUCTURE FOR IMPLANTATION FOR FORMING SCHOTTKY BARRIER PHOTODIODE
摘要
申请公布号 JPS633473(A) 申请公布日期 1988.01.08
申请号 JP19870147174 申请日期 1987.06.15
申请人 FORD AEROSPACE & COMMUN CORP 发明人 RICHIYAADO ARUBAATO BUREDOSAUAA
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L31/108 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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