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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS633437(A) 申请公布日期 1988.01.08
申请号 JP19860146661 申请日期 1986.06.23
申请人 SONY CORP 发明人 OSUGA HIROTO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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