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发明名称 IMPURITY DETECTOR SYSTEM IMPURITY DETECTOR SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0222465(A3) 申请公布日期 1988.01.07
申请号 EP19860300513 申请日期 1986.01.27
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOSEKI, YASUO;YAMADA, AKIRA;EBARA, KATSUYA;TAKAHASHI, SANKICHI;KUROIWA, MINORU
分类号 G01N21/49;G01N15/00;G01N15/06;G01N15/14;G01N21/53;G01N21/85;G01N33/18;(IPC1-7):G01N21/00 主分类号 G01N21/49
代理机构 代理人
主权项
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