OPTO-ELECTRONIC PROCESS FOR INSPECTING SURFACES.

摘要

Le procédé permet d'inspecter des surfaces étendues solides ou liquides pour détecter la présence de défauts microscopiques avec une grande vitesse. On utilise pour cela plusieurs canaux ou des voies multicanaux (optique de stries) en traitant l'information sur les défauts dans ou sur la surface à inspecter par des filtres pouvant avoir plusieurs étages. On obtient ainsi une sensibilité et une vitesse de mesure inconnues jusqu'ici.