| 发明名称 |
DEFECT DETECTION IN FILMS ON CERAMIC SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0204071(A3) |
申请公布日期 |
1988.01.07 |
| 申请号 |
EP19860102649 |
申请日期 |
1986.02.28 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
FLAMHOLZ, ALEXANDER LEON |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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