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发明名称 VAPOR GROWTH FOR TUNGSTEN NITRIDE
摘要
申请公布号 JPS632319(A) 申请公布日期 1988.01.07
申请号 JP19860145399 申请日期 1986.06.20
申请人 NEC CORP 发明人 IKEDA YASURO
分类号 H01L21/285;H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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