ELECTRON BEAM PULSE GATE,申请号JP19860142939-传众专利搜索

发明名称	ELECTRON BEAM PULSE GATE
摘要
申请公布号	JPS632238(A)	申请公布日期	1988.01.07
申请号	JP19860142939	申请日期	1986.06.20
申请人	FUJITSU LTD	发明人	OZAKI KAZUYUKI;ITO AKIO;OKUBO KAZUO;ISHIZUKA TOSHIHIRO;AOKI TAKAYUKI
分类号	H01L21/66;G01R31/302;H01J37/147;H01J37/28	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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