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申请公布号 DE8620493(U1) 申请公布日期 1988.01.07
申请号 DE19860020493U 申请日期 1986.07.30
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人
分类号 B06B1/06;G01H3/00;G01L9/08;G01L23/10;(IPC1-7):G01L23/10;H01L41/04 主分类号 B06B1/06
代理机构 代理人
主权项
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