发明名称 VERFAHREN DER DIFFUSION EINES MATERIALS, DAS EINEN LEITFAEHIGKEITS-TYP VERLEIHT, IN HALBLEITERMATERIAL EINER III-V-VERBINDUNG
摘要
申请公布号 DE3719547(A1) 申请公布日期 1988.01.07
申请号 DE19873719547 申请日期 1987.06.11
申请人 GTE LABORATORIES INC. 发明人 OREN,MOSHE;C.,PROF. PRINCE,FRANCISCO
分类号 H01L21/22;H01L21/223;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/223 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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