发明名称 |
VERFAHREN DER DIFFUSION EINES MATERIALS, DAS EINEN LEITFAEHIGKEITS-TYP VERLEIHT, IN HALBLEITERMATERIAL EINER III-V-VERBINDUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3719547(A1) |
申请公布日期 |
1988.01.07 |
申请号 |
DE19873719547 |
申请日期 |
1987.06.11 |
申请人 |
GTE LABORATORIES INC. |
发明人 |
OREN,MOSHE;C.,PROF. PRINCE,FRANCISCO |
分类号 |
H01L21/22;H01L21/223;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/223 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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