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发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS631911(A) 申请公布日期 1988.01.06
申请号 JP19860144841 申请日期 1986.06.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAKOSHI HISAYA;ICHIHASHI MIKIO
分类号 G01B15/00;G01B15/04 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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