发明名称 |
PROCESS FOR THE THERMOCHEMICAL SURFACE TREATMENT OF MATERIALS IN A REACTIVE GAS PLASMA |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2192196(A) |
申请公布日期 |
1988.01.06 |
申请号 |
GB19870011657 |
申请日期 |
1987.05.18 |
申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
* BERGMANN ERICH DR;* HUMMER ELMAR |
分类号 |
C23C8/36;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/22;C23C16/02;C23C16/06;C23C16/10;C23C16/12;C23C16/14;C23C16/24;C23C16/34;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50;C23C8/06;C23C14/48 |
主分类号 |
C23C8/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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