发明名称 PROCESS FOR THE THERMOCHEMICAL SURFACE TREATMENT OF MATERIALS IN A REACTIVE GAS PLASMA
摘要
申请公布号 GB2192196(A) 申请公布日期 1988.01.06
申请号 GB19870011657 申请日期 1987.05.18
申请人 * BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 * BERGMANN ERICH DR;* HUMMER ELMAR
分类号 C23C8/36;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/22;C23C16/02;C23C16/06;C23C16/10;C23C16/12;C23C16/14;C23C16/24;C23C16/34;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50;C23C8/06;C23C14/48 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
地址