| 发明名称 |
MULTIPLYING FACTOR ERROR DETECTOR AND APPARATUS FOR FOCUSINGIMAGE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS631031(A) |
申请公布日期 |
1988.01.06 |
| 申请号 |
JP19870122672 |
申请日期 |
1987.05.21 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
HIEISUHERUTASU BOUFUISU;ANTONIUSU HERUMANUSU MARIA ATSUKERUMANSU;FUIDO SHIYARURESU RUDORUFU MARII FUAN DE RUUIE |
| 分类号 |
G01M11/02;G03B27/32;G03B27/34;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G01M11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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