发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING PATTERNED SEMICONDUCTOR REGION
摘要
申请公布号 JPS63120(A) 申请公布日期 1988.01.05
申请号 JP19860143582 申请日期 1986.06.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HIRAYAMA YOSHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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